静电放电对集成电路危害的防护研究

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangbao1006
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本文基于电子制造企业的实际工作环境,系统地分析了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电的原理及对集成电路的损伤,研究了静电放电对集成电路损伤的防护方案,主要工作如下:  分析了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电对集成电路造成的损伤。通过分析人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电的原理,建立和求解了静电放电的模型方程,设计了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电的等效电路,仿真了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电的电流波形。  设计了静电放电实验,研究了静电放电危害的影响因素和静电放电导致集成电路失效的位置和损伤特征。设计了人体模型静电放电对产品的静电放电实验来分析静电放电防护系统、温度、湿度对静电放电危害的影响;设计了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电对集成电路的静电放电实验来分析和研究人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电导致集成电路失效的位置和损伤特征。  设计了静电放电对集成电路危害的防护策略,制定了静电放电控制方案的基本步骤,给出了集成电路静电放电防护的一般工艺要求,改进了西迪斯公司的静电放电防护体系,提高了公司产品的合格率和可靠性,减少了集成电路的损耗,降低了公司的制造成本。
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