微电铸技术具有复制精度高、低成本、可成形复杂形状微结构和纳米晶金属材料等优点,但传统芯模制备工艺繁琐、使用寿命短、成本高昂,严重制约了微电铸技术在微成形制造领域的广泛应用。新型微电铸芯模的制备是微电铸技术发展的关键之一。本论文对不同芯模上微电铸成形的Ni微零件结构完整性、铸层生长方式、力学性能和芯模使用寿命等进行研究,并通过调整电铸液配方制备了Ni-Fe合金和Ni Fe-Al₂O₃复合材料微零件,主要研究内容与结果如下:（1）以Φ3.60 mm×0.18 mm的微齿轮为模板,采用软刻蚀技术制备两种芯模:一种由PDMS模具粘附在导电基片上制成;另一种是表面喷金的PDMS模具。由以上两种芯模微电铸成形Ni微齿轮,发现第一种芯模不能完整的制备Ni微齿轮,但可以得到独立的微型零件,适合微图案的微电铸成形。在第二种芯模上微电铸成形的Ni微齿轮结构完整无缺陷,但需要抛光以去除粘附在Ni微齿轮表面的PDMS和金涂层,适合三维微型零件的微电铸成形。两种芯模上微电铸制备的Ni微齿轮晶粒尺寸均小于20 nm,但在喷金的PDMS芯模上制备的Ni微齿轮中残余应力更小。（2）将微米Ag颗粒作为导电填料均匀分散在PDMS基体中,再以横向特征尺寸为160?m的硅微流道为模板,使用软刻蚀技术制得导电性良好的Ag-PDMS芯模,采用Ag-PDMS芯模可以成形出独立的、具有高致密度和显微硬度的Ni微流道。同时,Ag-PDMS芯模具有良好的弹性和力学性能,易于脱模,可多次重复使用。但随着脱模过程中微米Ag颗粒的拔出,芯模表面的导电通路被破坏,导电性能迅速下降。（3）通过调整电铸液配方可在Ag-PDMS芯模上微电铸成形独立的、具有高致密度和显微硬度的Ni-Fe合金和Ni Fe-Al₂O₃复合材料微流道。相比于Ni微流道,由于Fe原子的固溶强化作用,使得Ni-Fe合金微流道的显微硬度增加。在Ni-Fe合金中添加Al₂O₃颗粒,可以提高Ni Fe-Al₂O₃复合材料微流道的致密度和显微硬度。