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【摘 要】
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随着半导体产业的发展,对半导体材料的要求也在提高,作为第三代半导体的GaN材料展现出了很多独特的优势,而基于GaN材料制备的AlGaN/GaN HEMT以其输出电流密度大、工作频率高、抗辐照能力强等突出的特性在大功率、微波等领域得到了广泛的关注和应用。集成度和频率特性要求的提高使GaN基HEMT器件尺寸不断缩小,而短沟道效应成为制约其尺寸减小的重要因素。鳍式场效应晶体管(FinFET)具有三维的立
【出 处】
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西安电子科技大学
【发表日期】
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2021年05期
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