【摘 要】
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存储器由于其应用广,产量大,成为了半导体行业的支柱。近年来,存储器芯片容量增大,单元密度增加,制造工艺越来越复杂,造成生产出的产品良率明显下降,因此必须采用新的故障模
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存储器由于其应用广,产量大,成为了半导体行业的支柱。近年来,存储器芯片容量增大,单元密度增加,制造工艺越来越复杂,造成生产出的产品良率明显下降,因此必须采用新的故障模型和故障测试算法。本文研究了存储器的测试技术和故障模型,并分析了5种常规测试算法,即全“0”全“1”法、棋盘算法、March算法、蝶形算法和奔跳算法。本文在深入研究着几种常规算法的基础上,提出了一种改进型March算法,基于棋盘格式对March算法进行改进。即每一个单元与其紧相邻的各个单元的值都不同,使得它们之间存在较大的电势差,容易产生互相影响。此算法能检测固定故障SAF、地址解码故障AF、转换故障TF和相邻图形敏感故障NPSF这四种类型的故障。在测试复杂度上,相对于基本March算法,此种改进型March算法没有增加额外的测试时间。本文使用ATL机器语言实现该算法。以DDR存储器为测试实例,使用一台Advantest T5571测试机和一片12英寸直径的512M DDR晶圆,验证改进型March算法的可行性。实验表明改进型March算法可显著提高故障覆盖率,并且测试时间与基本March算法相同,是一种经济有效的算法。
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