随着对微小空间内进行精密操作需求的日益增加,微机器人在微创诊疗、微纳制造等领域上的应用前景日益凸显,广泛的需求激励了其快速的发展。尽管先进的微纳加工技术促进了多种构型的微机器人的进展,但受限于材料的加工特性,微机器人的材料构成与制备仍然较为单一,因此研究多模式的制备方案具有重要意义。本文提出一种基于双层膜的磁性微机器人的制备方法,可在双层膜的基础上同时制备柔性鞭毛微机器人和螺旋推进微机器人,分别使用均匀振荡磁场和均匀旋转磁场驱动,并在搭建的磁场驱动系统中进行驱动实验研究。在螺旋形微机器人的制备方案中,提出了由磁性层和无磁性层组成的双层膜结构,通过无磁性层的预应变诱导双层膜发生自卷曲,对双层膜实施相应的切割方案可得到螺旋形结构,并研究了制备方案对螺旋形参数的影响规律。通过探索多模式的预应变方案,可得到多种自卷曲结构,并可在螺旋结构上集成容器结构。通过对双层膜结构的延伸使用,并施加相应的切割方案,制备了由磁性头部和无磁性尾部组成的柔性鞭毛微机器人。根据制备的微机器人的驱动类型,搭建了均匀磁场驱动系统。通过理论计算完成线圈的参数设计,并完成了两轴亥姆霍兹线圈的制作。通过构建线圈的激励模块并在上位机程序中集成旋转磁场和振荡磁场的生成算法,可产生实时可控的激励电流,使得线圈系统能够产生实验所需的驱动磁场。在线圈磁场的检测中,通过使用线性霍尔传感器完成交变磁场的精确测量,验证了驱动磁场能够满足实验要求。在水介质中,对不同参数的螺旋形微机器人在旋转磁场中进行驱动,研究其频率响应特性,并分析螺旋形的参数与游动的关系。为了研究介质粘度对微机器人游动能力的影响,在不同浓度的甘油溶液中执行了驱动实验。由于带容器的螺旋结构具有运载能力,因此探究了磁化特性对游动稳定性的影响,论证了径向磁化对游动稳定性的积极作用。通过施加均匀振荡磁场,对柔性鞭毛微机器人在水中执行驱动实验,并建立其振荡的动力学模型,研究其在水中的振荡特性。本文所研究的微机器人的运动都是基于磁力矩驱动的方式,通过研究其频率响应特性,论证了失步的机制。