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【摘 要】
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随着科技的不断进步,电子产品朝着高集成化和高性能的方向发展,产品的零件体积不断缩小,市场对产品精密检测技术的需求越来越大。因此,研究和探讨检测系统的优化和仪器化设计,具有较好的应用和发展前景。本文在综述国内外光学表面检测方法的研究现状基础上,提出了一种集成化的双频激光外差干涉扫描检测系统,它包括集成化的双频激光外差干涉模块、三维扫描位移台模块和数据处理模块。其中双频激光外差干涉模块集成化设计,可使
【出 处】
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广西师范大学
【发表日期】
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2019年01期
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