金属掺杂氧化钇薄膜的制备及其特性研究

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【摘要】

：

Y_2O_3是一种稀土氧化物,其薄膜具有优良的物理、化学性能,而且高温抗氧化能力强,可用作金刚石的抗氧化保护涂层。此外,Y_2O_3薄膜的透射率和介电常数较高,因此广泛应用于光电设备和半导体设备中。本文利用磁控溅射的方法在Si(100)衬底和玻璃衬底上制备了 Y_2O_3薄膜,并利用X射线衍射(XRD),扫描电子显微镜(SEM),能量色散X射线光谱(EDX)和紫外可见近红外分光光度计分别对薄膜的结

【作者】

：

张文文

【机构】

：

延边大学

【发表日期】

：

2017年05期

【关键词】

：

磁控溅射金属掺杂结晶性形貌光学特性

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