【摘 要】
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与传统的离焦法测头相比,论文研究的动态主动调焦法测量系统具有高的测量精度,大的测量范围和好的动态特性.更重要的是它可以测量具有强反射表面的高精度金属件和光学件,解决
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与传统的离焦法测头相比,论文研究的动态主动调焦法测量系统具有高的测量精度,大的测量范围和好的动态特性.更重要的是它可以测量具有强反射表面的高精度金属件和光学件,解决了形貌检测领域的一个难题.另外,它还可以应用于一些具有高精度要求的自由曲面测量.偏光干涉测量是一种新型的运用了晶体光学原理的物体形貌检测方法,同三角法相比,它具有较高的测量精度,相当的测量范围和工作距离.研究的主要内容为:解决高精度强反射表面测量中存在的问题和研究新型非接触检测方法.论文主要论述了动态主动调焦检测法的相关理论和技术,并针对研制的测头进行了详细的实验分析,给出实验结果.同时论文对偏光干涉测量原理涉及到的关键理论和技术问题进行了较详细的论述,给出了实验结果.
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