随着半导体市场的建立和壮大,作为供给半导体生产线不可缺少的超纯水系统成为保障生产的重中之重。在目前生产超纯水的各种各样的先进的水处理设备中时常会出现一些不可预知的故障,最早人们采用故障诊断的方法是人工方法,由工程技术人员或者专家凭经验进行判断,或者是利用专门的仪器进行现场测量得以分析判断,这些方法在大型复杂系统中是不现实的。因此我们要把控制理论、人工智能以及模式识别等学科技术容入到故障诊断技术中去使其成为一门相对独立发展的技术,成为实际大规模复杂系统运行过程中的可靠保障。本文首先通过对生产现场的工艺原理和流程分析,采用GE90系列的PLC对此套超纯水系统自动化控制进行编制,介绍了系统的硬件组成和各个控制回路的控制要求以及程序流程图。针对于在超纯水监控系统实现上采用了组态王6.5软件设计界面,详述了组态王设计监控界面的过程,展示了系统详图、报警图、报表图、曲线图等实时监控图面。作为控制系统,大家熟知的神经网络、模糊数学等这些方法通常需要复杂的计算,并且只有在信息准确、完整的情况下才能得到满意的结果,而实际上人们得到的信息往往不准确、不完整,并且通常设备的某一故障可以体现在所有的特征信号之中,而这些信号之间存在冗余的关系,可能通过某个或少量特征信号就可以完全表征出该故障。因此一种新的处理模糊和不确定性知识的数学工具粗糙集理论成为越来越多科研人员的关注。粗糙集理论是一个有效的工具,主要应用于数据挖掘,其它领域如模糊粗糙集控制、决策分析系统以及医疗诊断、专家系统等方面都有应用,但在故障诊断技术中的应用还不是很多。因此本文尝试研究粗糙集理论在超纯水系统故障诊断中的应用,包括建立基本粗糙集模型,以及故障诊断系统的仿真实验。在介绍了粗糙集的基本概念和理论后,利用收集到的部分数据进行了初步的RS建模、分明矩阵的约简和规则库的建立。最后应用了VB软件作为故障诊断系统开发,作为检验故障诊断系统生成后可行性的平台。通过得到的实验数据进行仿真实验,做到了在保证分类能力不变的情况下冗余信息的消除,降低了计算工作量和减少不确定性因素的影响,在仿真实验结果分析中与实际生产线故障分析相比较,是基本一致的,去除掉了那些冗余的因素,快速的得到了诊断结果。