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机电集成静电谐波微型传动系统是一种微型广义复合传动系统,利用柔轮的波动变形实现运动传递和运动转换。控制系统是机电集成静电谐波传动系统的重要组成部分,控制着该传动系统的启动、停机、调速和定位等功能。和传统的传动系统相比,机电集成静电谐波传动更依赖于控制系统,因为该微型传动要求更精确的位置定位和更快的速度响应。因此,控制理论和控制方法的研究对机电集成静电谐波传动的设计、分析和性能控制具有重要的现实意义和应用价值。本文深入研究了机电集成静电谐波传动系统的工作原理,在此基础上建立了机电集成静电谐波