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本文利用溶胶－凝胶法制备出结构性能良好的ZnO基薄膜，对薄膜的透明导电性、紫外光电响应特性、紫外光照下气敏性能进行了研究，对相关的机理也进行了探讨。测试显示，紫外光照能够提高室温ZnO基薄膜对CO和乙醇气体检测的灵敏度。
传感器元件从分立到集成，敏感膜从单一到复合，小型化、多功能化、常温化、智能化的发展是气体传感器发展的必然趋势。随着微电子和薄膜技术的发展，出现了加热单元、温度传感器、测量电极等集成一体的气体传感器，结构小型化使功耗大大降低。微结构气敏传感器的发展为电子鼻的发展创造了很好的发展前景。本论文利用溅射电极和隔离层、光刻剥离、溶胶－凝胶法制备敏感膜等工艺制备了一种新型的微结构气敏传感器，并对传感器结构与性能进行了研究。