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介观尺度MEMS器件的工作间隙小,且运转速度高,相对于传统机械而言,其摩擦问题显得更加突出。由于缺乏有效的润滑手段,严重阻碍了MEMS器件的开发应用。为此,本文尝试采用低表观粘度的纳米磁性液体,对介观尺度MEMS器件进行了磁控润滑研究。根据液体润滑理论中摩擦副速度工况与所需润滑剂粘度间的相互关系,以及磁性液体的表观粘度可以通过外加磁场调节的粘磁效应理论,提出了磁性液体的磁控润滑模型,用来改善介观尺度MEMS器件的润滑效果。根据磁性液体粘磁效应分析结果,采用化学共沉淀法制备出磁性能优良的Fe3O4磁性