溶胶凝胶Al<,2>O<,3>薄膜钝化p型硅特性研究

被引量 : 24次 | 上传用户：jason008_xu

【摘要】

：

目前,晶硅电池占据着光伏市场的主导地位。晶体硅钝化技术是提高太阳电池转化效率的重要手段。传统的全Al背场背面钝化方法已经不适应薄的晶体硅太阳电池,而且随着n型电池的研究发展,需要寻找合适的技术工艺钝化p型晶体硅。研究发现,Al2O3薄膜固定负电荷密度高达1012-1013cm-2,对p型晶体硅有很好的钝化效果。目前国际上主要研究用原子层沉积技术(ALD)制备A1203薄膜钝化晶体硅,取得了很好的效

【作者】

：

曹文喆

【机构】

：

北京交通大学

【发表日期】

：

2010年06期

【关键词】

：

Al2O3薄膜溶胶凝胶钝化固定负电荷 p型晶体硅

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