微位移的研究是当前微机电系统(MEMS)研究领域的一个重要的研究方向,它在生物化学、航空航天以及微电子等领域有着巨大的应用价值,微米级微位移的实现及其控制是这一领域的基本问题,开展微位移的实验研究不仅有助于微致动器致动机理和致动结果及其相关因素全面、深刻的研究和探索,也有助于全面了解和掌握微位移执行机构的性能参数及其控制特性.该文正是在这两个方面作了研究工作.通过对当前微位移驱动方式以及特点的分析研究,探讨了柔性铰链在MEMS领域里的应用,柔性铰链的结构形式及其特点以及目前针对柔性铰链的研究方法.设计了该文的柔性结构二维微位移器.解决了普通机构难以产生微米级微小位移的难题.通过ANSYS有限元分析软件对微位移器x、y方向位移响应的计算,说明该微位移器在这两个方向有着非常好的线性度,并可获得可观的位移放大倍数.完成了微位移器实验台的搭建工作.进行了微位移器运动特性的实验研究.编制了激光干涉仪与工控机间的通讯程序模块,完成了为压电陶瓷提供控制电压的PCL-812PG多功能数据采集卡的驱动程序模块,从而可以在一个程序框架下完成与激光干涉仪的实时通讯,对压电陶瓷致动器的加电控制.为今后利用此类检测设备进行微位移器性能的研究奠定了基础.通过对实验数据的分析,发现由于压电陶瓷致动器的迟滞和蠕变效应,造成微位移器也存在相同的现象.通过分析压电陶瓷致动器迟滞现象产生的机理以及精确控制的试验研究,得出相应的数学模型,以此为依据,通过控制补偿,可抵消迟滞和蠕变效应的影响,使微位移器的位移精度达到2 μ m.