采用显微监控的可选区原子力显微镜研究

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【摘要】

：

微纳米检测技术越来越成为现在世界科技发展的前沿之一,对现代科学技术的发展和社会进步起了非常巨大的推动作用。而扫描隧道显微镜(STM)与原子力显微镜(AFM)等超高分辨率的仪器已经成为纳米领域里不可或缺的重要检测工具,尤其是AFM,因为它不受样品是否导电的限制而广泛被应用于微电子学、医学、生物学、物理学、化学与精密机械及微纳米技术等领域。目前,世界上大多数传统的AFM,都没有显微监控单元。但是AFM

【作者】

：

刘明月

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2014年01期

【关键词】

：

AFM 显微监控光路扫描区域选择探针-样品逼近监控高分辨率步进扫描台

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