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【摘 要】
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SOI技术是下一代微电子技术的重要研究方向,它具有功耗小,速度高,等比例缩小特性良好等优异性质,而SOI MOSFET则是下一代集成电路的基本工作器件,它的基本电学性能的研究是目
【机 构】
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兰州大学
【出 处】
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兰州大学
【发表日期】
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2004年期
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