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【摘 要】
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本文采用合金靶材进行磁控溅射制备CoSi2薄膜，对CoSi2薄膜的成分组织结构性能跟溅射参数的关系进行了分析，研究了非晶CoSi2薄膜晶化和相变过程以及Zr元素对晶化相变和薄膜性能
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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上海交通大学
【发表日期】
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2006年期
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