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来源 :南京理工大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
光学材料表面及亚表面缺陷严重降低了元件抗激光损伤的能力,使其成为了制约高功率激光系统的重要瓶颈。追求制造出零缺陷的工艺,延长光学元件的寿命,提高抗激光损伤的能力是
【作 者】
:
闫续
【出 处】
:
南京理工大学
【发表日期】
:
2013年期
【关键词】
:
HF酸刻蚀
亚表面缺陷
超声
激光损伤
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