【摘 要】
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本文研究了一种新的相变记录材料—GaSbBi。对靶材的组织与性能,薄膜的结构、结晶动力学及光学性质进行系统的测试分析。 采用冷等静压+热等静压工艺制备GaSbBi靶材。该系
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本文研究了一种新的相变记录材料—GaSbBi。对靶材的组织与性能,薄膜的结构、结晶动力学及光学性质进行系统的测试分析。 采用冷等静压+热等静压工艺制备GaSbBi靶材。该系列靶材为GaSb+(Sb,Bi)共晶组织,具有很好的致密度,具有合适的熔点温度。同时,随着Bi含量的增加,物质的晶格参数变大,熔点降低。 薄膜的X衍射分析表明,结晶态薄膜随着Bi含量的增加,Sb相的晶格参数c值增大。对不同退火温度的Ga12Sb79.2Bi8.8薄膜的XRD分析表明,退火温度的改变对晶粒大小和结晶度有较大的影响,350℃退火晶粒平均尺寸最大,400℃退火则结晶度最好。 对薄膜的DSC测试分析表明,随着Bi的含量的增加,结晶温度下降,通过Kissinger方法计算得到晶化激活能。在掺杂成分范围内,晶化激活能随着Bi的含量的增加而降低,从而提高非晶薄膜的晶化速率,但晶化活化能均大于2.0ev,因此依旧满足稳定性要求。 薄膜的分光光度计测试表明,Ga12Sb79.2Bi8.8的性能满足光学性能要求,结晶态薄膜的吸光度高于非晶态的吸光度,可以降低物质在读取信息的变形,衬比度最小为28.78%满足光学性能反射率的要求。Ga12Sb88和Ga12Sb83.6Bi4.4读取信息的时候有可能会造成信息的丢失。通过对Ga12Sb88、Ga12Sb83.6Bi4.4和Ga12Sb79.2Bi8.8三种薄膜的对比分析,得到了随着Bi含量的增加,透射率增加,吸光度减小,光学禁带宽度相差很小,Ga12Sb83.6Bi4.4的反射率的值最高,但是Ga12Sb83.6Bi4.4的衬比度最小。
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