【摘 要】
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该论文设计、加工和测试了一种便于检测、可在大气下工作的振动式微机械陀螺,并结合陀螺的研制,研究了多项相关的微机械动力学问题.该论文研究了有关空气阻尼和法向静电驱动
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该论文设计、加工和测试了一种便于检测、可在大气下工作的振动式微机械陀螺,并结合陀螺的研制,研究了多项相关的微机械动力学问题.该论文研究了有关空气阻尼和法向静电驱动的几个问题.提出了一种新的稀薄空气压膜阻尼模型,模型的结果在临界气压的估计上比传统模型有明显提高.该文还提出了开有高深度比的阻尼孔的多孔板的压膜阻尼的修正模型,为采用深反应离子刻蚀技术制作的阻尼孔的设计提供了手段.
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