声表面波技术是一门新兴科学技术领域，它是声学、电子学、光学、压电材料和半导体平面工艺相结合的边缘学科。由于可以通过对声表面波器件本身参数的测量，从而实现对如气体浓度、温度、质量等一些参量的间接测量，因此，目前表面波传感器成为国际上器件研究的新热点之一，应用领域己渗入到国民经济的各个领域。然而，目前声表面波传感器件在器件建模、设计、测试方面的理论和方案还不够成熟和系统。本论文正是针对这些问题，从器件建模、设计、测试等方面进行了系统理论研究和实验测试。针对声表面波器件的性能涉及到基片材料的各种参数、膜厚等工艺等诸多因素，论文将研究两个或多个电磁波模式间耦合的理论——耦合模理论用于声表面波器件的设计和特性仿真中，着重分析了声表面波器件的内部结构以及性能，推算出了声表面波器件的耦合模方程，求解该方程，得到了方程的解析解，使器件的各种仿真参数更加准确和逼近实际测量结果。在对设计的器件进行了制作、封装的基础上，使用Agilent E5062A ENA-L射频网络分析仪对器件的各个参数进行了测量，并在此基础上设计了一款声表面波器件理论和测量参数分析软件，软件将用耦合模理论得到的各种声表面波器件参数曲线图与使用网络分析仪测量得到的参数曲线图在同一界面上进行了综合对比分析。利用所设计的器件，制作了一个中心频率为101.764MHz的双声路声表面波传感器件，器件采用双声路结构，一路做为参考声路，另一路做为测量声路，以补偿外界环境因素的影响，并用安捷伦MSO7032A示波器对两声路分别做了对比测试。