发展高技术产业在国家经济和国际竞争中具有重要的战略性地位。中国自1986年开始关注高技术产业集成化和产业示范,历经三十余年,将高技术产业从零发展成各区域产值惊人的支柱性产业。高技术产业发展的相关问题中,最备受瞩目的是高技术产业创新,因为它是高技术产业发展的生命之基,是推动中国实现“创新引领发展”的重要组成部分。在学术界和实业界均已认同产业集聚有效促进创新之时,分歧点出现在专业化集聚还是多样化集聚更有利于创新。本研究从此分歧点切入,在大部分研究仅聚焦于集聚对创新产出影响时,探究专业化集聚、多样化集聚对创新效率的影响。具体而言,本研究使用《中国高技术产业统计年鉴》2009-2016年的31个省市数据,以DEA-Tobit模型法检验专业化集聚、多样化集聚对高技术产业创新效率的影响。并进一步探究研发氛围和专业化集聚、多样化集聚对高技术产业创新效率的协同作用。实证结果为:(1)在医药制造业,专业化集聚抑制创新效率改善,多样化集聚促进创新效率改善;在电子及通讯设备制造业,专业化集聚促进创新效率改善,多样化集聚抑制创新效率改善。即,专业化集聚、多样化集聚对分类别高技术产业创新效率的影响存在较大差异。(2)研发氛围减弱医药制造业专业化集聚对创新效率的抑制作用,增强电子及通讯设备制造业专业化集聚对创新效率的正向促进作用。(3)经营绩效、产业研发氛围和政府支持力度能够显著促进高技术产业创新效率改善,企业平均规模、出口比和区域开放程度影响不显著。