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【摘 要】
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硅基光子器件具有优异的光、电特性，并且能够完全和传统的微电子工艺相兼容，近年来受到越来越多的关注。随着光子集成电路中微电子芯片特征尺寸的不断减小和集成度不断提高，集成
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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中国科学院半导体研究所
【发表日期】
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2009年期
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