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作为导致大气污染、酸雨雾霾的主要气体,二氧化氮(NO_2)的检测与治理备受人们关注,因此需要研发高灵敏度、高精度、高响应的NO_2气体传感器。氧化铟(In_2O_3)具有禁带宽、电阻率低和易集成的优点,故本文制备了基于In_2O_3纳米材料的传感器并对NO_2的气敏特性进行测试。主要内容如下:制备具有球状堆积结构的In_2O_3纳米材料,并对其表面形貌及组成成分进行表征。通过水热24 h,1℃/min升温速率升温至500℃、退火2 h后获得In_2O_3纳米球的形貌最佳,再分别进行贵金属Au、Ag负