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室温磁制冷技术具有节能、环保等突出优点,越来越受到人们关注。钆(Gd)在室温具有优良的磁热效应,同时具有良好的韧性和易加工性,是磁制冷机首选的室温磁致冷材料。但作为磁致冷工质钆(Gd)由于其性能活泼,在热交换介质中腐蚀严重,严重影响了磁致冷样机的使用寿命。因此,对磁制冷材料Gd的保护尤为重要。根据理论分析和实践经验,Ti膜具有良好的耐腐蚀性,本文在此基础上,深入研究Ti薄膜。针对Ti薄膜微观结构和各种性能之间的联系上进行研究和探索较少的现状,本文主要集中研究Ti薄膜溅射沉积过程微观组织与