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来源 :天津理工大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文将介绍两种用以掺硼金刚石(BDD)为主要材料构建的超级电容器电极,第一种构建方法以钽(Ta)为基底,利用热丝CVD在其上生长厚度为30-40um的BDD,然后利用射频磁控溅射法在BDD/Ta
【作 者】
:
史超
【机 构】
:
天津理工大学
【出 处】
:
天津理工大学
【发表日期】
:
2016年01期
【关键词】
:
BDD 薄膜
超级电容器
刻蚀
电化学性能测试
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