扫描电子显微镜是一种精密的观测仪器,被广泛应用于观察物质的表面形貌,研究物质的微观结构与成分,在生命科学、材料科学、化学、物理学等研究领域发挥着巨大作用。扫描电镜技术的不断发展使其已经成为科研机关和企业单位进行高科技研究和常规分析测试不可缺少的工具。与光学显微镜和透射显微镜相比,扫描电子显微镜具有分辨率高、景深大、图像富有立体感等优点。在实际工作中,扫描电镜会受到各种噪声的干扰,影响其成像质量,进而影响观测的正确性和精确度。扫描电子显微镜的主控制系统是其智能控制系统的核心部分,主要完成系统状态检测,控制参数设定、加载,产生扫描信号,控制透镜及镜筒偏转,对收集到的探测信号进行采集处理并送往图像显示系统,与上位机通信等功能,直接控制电镜成像。因而,对于扫描电子显微镜主控制系统进行噪声分析与控制,有利于提高电镜的观测性能。本课题从扫描电子显微镜的工作机理入手,分析了主控制系统中存在的噪声及这些噪声对成像质量的影响,重点对扫描电路、光电转换系统、视频信号采集系统等三方面提出了控制噪声的措施,并对控制板电源系统进行分级设计,提高了其抗噪能力。同时,本课题还完成了扫描电子显微镜主控制系统硬件电路的设计和硬件电路的调试及系统联调,测试结果表明,电镜成像质量良好,噪声得到有效控制。