【摘 要】
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本文从光波导的基本理论出发,介绍了有限差分光束传播法(FD-BPM)的理论推导及其所涉及的边界条件,然后分别介绍了三种结构的光波导器件——Y分支分束器、定向耦合型电光开关
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本文从光波导的基本理论出发,介绍了有限差分光束传播法(FD-BPM)的理论推导及其所涉及的边界条件,然后分别介绍了三种结构的光波导器件——Y分支分束器、定向耦合型电光开关和M-Z型电光调制器的的工作原理,借由BPM软件对这三种器件的波导结构进行了模拟分析,得出了优化的结构参数,并设计了相关的光刻版的版图。最后根据聚合物的材料特性,阐述了材料选择的要求,并提供了波导制备的工艺流程。
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