随着薄膜制作技术和精细加工技术的快速发展,光学薄膜技术也日益成熟起来,它不仅广泛应用于光通信、光信息处理、光学测量等领域,而且在传感器方面也逐渐显示出它的独特优越性和实用性,其在生化、医学、生命科学、环境检测等领域的应用已经使它成为当今传感器领域研究的一个热点。本文利用PLD技术制备光波导生物传感器所必须的光学薄膜,并在此基础上对传统的SPR生物传感器进行了改进和实验研究,其具体工作如下: 1.采用先进PLD(脉冲激光沉积技术)在棱镜底部通过缓冲层制备出光学特性优良的ZnO薄膜,改变了传统的光学制膜方法,大大提高了光学薄膜的均匀性,并通过XRD(X射线衍射仪)和SEM(扫描电镜)检测了其结晶情况,用实验数据及结果分析了其沉积温度和结晶质量之间的相互关系。 2.利用m线与数值计算相结合的方法测量了光学薄膜的厚度和折射率,为设计多层SPR生物传感器提供了实验参数和理论依据。 3.理论分析多层SPR生物传感器的物理机理,并通过实验测量了对于不同检测物的ATR谱线,通过与一般的SPR生物传感器的结果和数据比较发现:多层SPR生物传感器具有更高的分辨力和解析力,从而为设计高分辨率、高解析力的新型传感器提供了新的理论依据和实验参考。