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V_2O_5和VO_2薄膜具有优良的电致变色和热致变色的特性，是具有广阔应用前景的功能材料。主要应用于显示器件、光学开关、光存储、激光保护、辐射测热装置等，特别是在智能窗材料方面的应用已成为研究的热点。器件的性能与薄膜的微观结构密切相关，而制备方法和工艺参数等对薄膜微结构的影响以及变色性能的改善等许多问题，仍有待系统深入的研究。 本文采用直流磁控溅射方法制备得到(001)取向的V_2O_5薄膜，并通过对V_2O_5薄膜进行真空退火制备VO_2薄膜。利用XRD、SEM、FT