石英摆片激光切割技术及其基本规律研究

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该文通过对石英摆片零件结构以及石英摆片的材料——JGS<,1>高纯合成光学石英玻璃进行了分析,对现有加工工艺进行了对比分析,研究了激光加工石英玻璃进行了分析,对现有加工工艺进行了对比分析,研究了激光加工石英玻璃的可行性,确定了石英摆片"C"形槽和三窗口的新的加工方法——激光切割.其次,该文从激光切割的原理、特征和切割的物理过程入手,探讨了石英摆片激光成形加工的工艺过程,确定了石英摆片激光切割的试验装置、工艺流程和具体试验安排.第三,该文在试验的基础上,进行了激光切割石英摆片优化工艺参数研究.第四,该文研究了石英摆片激光切割的传热机理,建立了基于热传导方程的石项摆片激光切割的理论模型;将热传导方程无量纲化并应用积分法得到激光切割石英摆片的无量纲传热数学模型,应用有限差分法对激光切割的传热过程进行了模拟仿真;运用仿真结果分析了激光切割石英摆片的热影响区的大小,同时实现了对石英摆片热传导损失的估计;对仿真结果进行了验证并与激光切割的参数模型进行了比较.第五,该文通过对石英摆片激光切割表面形貌特点的分析,研究了激光切割石英摆片过程中,熔化表面、熔化面和熔化层的形成过程;通过对熔化层猝发现象和猝发过程的分析,研究了熔化层由层流向紊流的过渡过程.最后,该文通过激光切割面所形成裂纹种类和特点的分析,建立了激光切割石英摆片的热弹力学模型,激光切割石英摆片过程中,表面裂纹的形成进行了研究,给出判断裂纹产生的准则.
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