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【摘 要】
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随着世界工业的发展，人们对位移测量和定位的精度提出越来越高的要求，各国工业研究部门和计量测试部门纷纷投入大量的资金和人力，致力于更高精度的仪器产品的研究，其中研究非接触
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【发表日期】
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2009年期
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