本文研究了柔性神经微电极的制备与微加工工艺。 神经微电极也称生物电子接口，是指在电子和活细胞组织间传导信号的电极结构。用微电极可以从电活性细胞组织中被动地记录下细胞的外部信号，或通过电信号刺激这些细胞。属于生物医学工程学与微机电系统（MEMS）交叉领域。针对目前世界上普遍存在的原发性视网膜色素变性(RP) 及老年性黄斑变性(ARMD)患者，研究以柔性材料聚对二甲苯（Parylene）为基底，在其上加工微型电极阵列。目的是用这种装置替代视网膜的部分功能，使失明或濒于失明的眼重新获得部分有用视力。 由于采用视网膜前假体植入方法，同时考虑到人体眼内组织结构，神经微电极的生物相容性和长期稳定性，提出了下述柔性神经微电极的结构：基底Parylene的尺寸大小为3200μm×1000μm×8μm；钛/铂（Ti/Pt）电极的直径为200μm，厚度为10nm/300nm；电极共有16个（2×8），电极之间间距为200μm；引线采用金属铂（Pt）或金（Au）材料制作而成，线宽为50μm。最后用Parylene进行涂覆，暴露出微电极和引线接口部分，从而起到良好的绝缘作用，同时也提高了生物相容性和长期稳定性。 针对微电极的结构，设计了一种基于柔性基底的微电极加工工艺方法。采用化学气相淀积（CVD）的制备Parylene基底。结果显示，基底厚度均匀，致密性好，且性能稳定。在柔性神经微电极的制备过程中，整体工艺流程的设计和掩模层材料的选择是比较关键的步骤。通过采用金属铝作掩模，最终制备出柔性神经微电极，并采用电化学分析的方法搭建了测试系统。测试结果显示，在一定的频率范围内（104Hz～105Hz），该微电极阻抗值低（1000Ω～400Ω），相位延迟小（-20度左右），说明实验加工出的柔性神经微电极性能良好。 在此基础上，探讨了视网膜修复的三维神经微电极。