为验证小份额取样元件（透过率小于5%）的透过率和镀膜均匀性能否达到技术指标的要求，本文设计了一种低透过率测量系统。该系统由激光器、积分球、功率计和四个不镀膜的裸镜构成。测量原理为：入射激光被不镀膜的裸镜分光，反射光为参考光，透射光为测量光，两路光由同一个探测器交替接收，通过对比两路光的光能量得到待测件的透过率。该系统有三个特点：一、裸镜取代镀膜元件用作分光镜和反射镜。裸镜表面的反射率仅由入射角决定而与薄膜工艺无关，可将其作为对比测量的标准。其次，光被裸镜反射，能量得到适当衰减，使测量和参考光路的能量相近。二、两路光由一个探测器接收。用一个探测器交替测量两路光的能量，可避免两个探测器同时测量时，探测器性能的不一致性引入的系统误差。三、在参考光路中加入补偿镜。补偿镜与测量光路中分光镜的表面反射率，材料的内部吸收均相同，在计算过程中可约掉，简化最终的计算公式。通过实验验证了系统的可行性及重复精度，测量了镀膜元件不同位置处透过率的数值。根据理论分析，测量值的相对标准不确定度（σ_T/T）为0.424%，与实验测得的结果相吻合。