【摘 要】
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由于受到衍射极限的约束,光子回路的尺寸在微米量级,然而,现今的制造工艺水平已经可以将电子电路的线宽做到100纳米以下,现有的光子回路不能满足光信号的存储和相关处理的要求,也
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由于受到衍射极限的约束,光子回路的尺寸在微米量级,然而,现今的制造工艺水平已经可以将电子电路的线宽做到100纳米以下,现有的光子回路不能满足光信号的存储和相关处理的要求,也不能满足电子电路对光电子器件微型化和高度集成化的要求。因此,光学领域中基于表面等离子体共振的纳米尺寸的光电子器件成为目前的研究热点和探索方向。随着表面等离子体理论研究的不断深入以及微纳型光电子器件制造工艺水平的显著提高,基于表面等离子体的器件得到了广泛应用。由于表面等离子体共振可将电磁场能量约束在金属与介质分界面处的纳米尺寸空间范围内,且具有局域场增强效应,使其在微纳光子器件中有着许多潜在的应用价值。 本文探讨了基于金属钒亚微米结构的表面等离子体宽带广角红外光吸收器,它由置于表面涂覆介质层的金属钒衬底上方周期性平行排列的无限长钒条构成。它吸收效应的物理机制是入射光与表面等离子体波耦合激发起局域表面等离子体共振,共振效应约束了电磁场能量在金属与介质分界面附近,最终入射光能量以欧姆损失的形式损耗在金属中。本文还对吸收器提出了两种改进型的结构,并对基于金属钒的吸收器与其它吸收器进行了比较。基于金属钒的吸收器具有对宽频带广入射角度的入射光在谐振峰附近接近100%的吸收的特点,且由于金属钒的熔点很高,该吸收器可用于强光高功率的应用场合。本文使用有限元方法计算了基于金属钒的吸收器的吸收频谱,当P极化平面电磁波以小角度入射(入射角小于20°)时吸收率保持在98%以上的波长范围为1.08μm至1.60μm,当P极化平面波以大角度入射(入射角小于50°)时吸收率保持在98%以上的波长范围为1.08μm至1.44μm。且当P极化平面波以10°入射时在谐振峰处(波长λ=1.54μm)的吸收率达到99.9%。吸收器具有亚波长尺寸结构,易于集成到其它光学器件或电子回路当中;改变吸收器的几何形状、尺寸和中间介质层的材料,都会显著影响其吸收频谱,可以通过改变其结构和材料来制作吸收不同频段光波的吸收器;根据吸收频谱对介质层折射率的敏感性可以制作折射率传感器,对介质材料进行高精度高灵敏的无损检测,或者作为波长敏感型传感器、选择性热发射器、以及减少反射的涂层结构材料等。微型化、可集成、宽频带、广角度、耐强光是基于金属钒亚微米结构的表面等离子体宽带广角红外光吸收器件的优势,它在光学、航天及安全监测等诸多领域中有着许多潜在的应用价值。
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