由于微电子技术的发展,使非接触测量发生了质的飞跃,使得当前测试技术向高精度、高效率和自动化方向发展。距离的非接触测量则是测量技术研究的重要内容之一。非接触测距方法中,基于位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,简称PSD)和光学系统测量法已成为了当前研究的热门。PSD是一种基于横向光电效应的光电子器件。它具有分辨率高、响应速度快、信号处理简单等优点,适用于位置、距离、位移、角度以及其他相关物理量的测量。本文首先介绍了国内外当前对PSD的研究发展和工程应用的现状,以及传统的PSD位置响应理论。深入地分析了PSD的原理、结构设计、工艺制作、信号处理及应用等问题。深入研究了如何提高二维PSD线性度的问题,提出了一种可以有效减小该结构PSD位置误差的系数修正方法,并取得了很好的结果。这些为高精度测量系统的设计和制作提供了理论依据。设计了基于PSD的直管弯曲度测量硬件、软件系统,详细介绍了PSD信号处理的基本电路,对电路的前置放大器进行了深入研究,改进了PSD信号处理的基本电路,采用软件除法代替模拟除法器以提高稳定性。系统具有测量精度高,实时处理性强并可与计算机通信等优点,故具有很强的实用性。