智能工厂系统为半导体制造提供了完整的工厂自动化解决方案。随着现代工业的发展，繁多的自动化生产流程、越来越复杂的控制、工厂越来越频繁的技术升级、规模改造和流程更改，需要为智能工厂系统提供建模数据管理模块，以实现快速配置、部署升级新的系统，降低人力成本和提高生产效率。　　本文首先介绍智能工厂的结构与功能，重点阐述了建模数据管理系统的功能及在智能工厂中的重要作用，明确了建模数据管理系统设计与实现的意义。立足于项目实际需要，对建模数据管理系统进行需求分析，并对其相关技术 XML、COM+进行讨论。然后对建模数据管理系统进行模块划分及功能方法的设计，主要包括概要设计、模块设计以及接口设计。在此基础上，对其中的数据类型设计模块、数据解析模块、数据配置模块、数据升级模块、数据纠错模块、日志模块进行了详细设计，并给出了具体实现过程。最后对整个系统进行了集成测试，并给出相关模块的部分测试用例与结果，完成了整个系统的开发。　　目前本文所实现的系统已经集成在智能工厂系统中，用于智能工厂的系统部署与维护。