【摘 要】
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应变传感器是一类能够将应变、压力、力矩等物理刺激信号,转换为可读信号并输出的传感器。一般的将应变传感器分为刚性应变传感器和柔性应变传感器两种,应变传感器在复杂表面的应用限制了刚性传感器的发展。柔性应变传感器则是指采用柔性材料制成的传感器,具有良好的柔韧性、延展性、甚至可自由弯曲甚至折叠。碳材料具有柔韧性好、导电性好、稳定性高、易于设计成各种形貌等优点,多次被用来制备柔性应变传感器。但已报道的利用还
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应变传感器是一类能够将应变、压力、力矩等物理刺激信号,转换为可读信号并输出的传感器。一般的将应变传感器分为刚性应变传感器和柔性应变传感器两种,应变传感器在复杂表面的应用限制了刚性传感器的发展。柔性应变传感器则是指采用柔性材料制成的传感器,具有良好的柔韧性、延展性、甚至可自由弯曲甚至折叠。碳材料具有柔韧性好、导电性好、稳定性高、易于设计成各种形貌等优点,多次被用来制备柔性应变传感器。但已报道的利用还原法制备的石墨烯质量缺陷大,利用化学气相沉积法(CVD)制备石墨烯的工艺复杂、成本高。这些问题都会限制石墨烯基柔性应变传感器发展。为克服已有的石墨烯基柔性应变传感器所具有的缺点和不足,本课题设计了一种基于自组装石墨烯薄膜的柔性应变传感器和柔性纹身干电极,以石墨烯纳米片为原材料,利用马兰格尼效应制备了自组装石墨烯纳米薄膜,利用柔性材料聚酰亚胺(PI)作为柔性纹身式应变传感器的基底。利用微机械雕刻和转印工艺制作了柔性纹身式应变传感器。最后对柔性应变传感器的性能进行分析测试。检测结果表明应变传感器的在1%的应变下的灵敏度为2.5%,可承受2000次的疲劳测试,可以测试人体脉搏信号和呼吸信号。除此之外,利用这种工艺制备了一种的石墨烯纹身干电极。同样工艺制备的石墨烯纹身干电极与市售的Ag/Ag Cl凝胶电极相比,具有更高的稳定性(24小时内检测能力无明显衰减),基于石墨烯纳米薄膜的纹身干电极具有较低的皮肤接触阻抗,人体心电图(ECG)的检测能力高于Ag/Ag Cl凝胶电极55%,并且同时用于不同动作肌电图(EMG)的准确检测。
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