氮化镓宽禁带材料因其耐腐蚀性、热稳定性好,是制备LED光电子器件的优质材料。石英光纤材料在光纤通信与传感方面用途广泛,其重要性不言而喻。但上述两种材料均属于硬脆性材料,传统方法的加工难度较大。而超短激光(157nm激光和飞秒激光)因其对材料的热影响小,可望成为氮化镓与光纤材料的理想微加工工具。基于此,本文分别利用157nm超短波长激光、飞秒超短脉冲激光对氮化镓基材料和光纤材料进行微加工特性研究。本文简要介绍了两种激光的作用机制和特点,并分别利用两种激光对氮化镓、光纤材料进行一系列的微加工实验,研究两种激光加工参数与刻蚀质量之间的关系。本文主要内容和成果如下：1.研究了157nm激光各种加工参数对氮化镓基半导体材料激光抛光、激光切割质量的影响。实验结果表明,在一定范围内,扫描速度的增大会引起微平面粗糙度的增加,脉冲频率的增大、光斑尺寸的增加或扫描间距的减小,都会降低微平面加工质量,且激光加工能量的大小对加工效果会产生较大的影响。利用157nm激光对氮化镓材料进行切割试验,分析了离焦量对切缝深度和宽度的影响,并采取不同加工方式进行了试验,寻求较好的加工工艺。2.利用飞秒激光对氮化镓材料进行激光抛光和切割试验研究,探讨加工参数与加工质量间的关系。试验结果表明,脉冲能量的增加、扫描次数的增加,微平面的加工效果都较差,且扫描间距对加工质量并没有较大的影响。在切割试验中,随着脉冲能量的增加、扫描速度的减小会引起切缝深度的增加。且有效脉冲数的减小或扫描速度的增加,切缝宽度会随之减小。并采用从正、反两面开始加工的方法,对加工质量进行对比,选取较好的加工方式。3.利用飞秒激光对石英光纤材料进行切割微加工,研究加工参数与切割断面质量的关系,寻求较理想的加工参数。实验结果显示,在不同脉冲频率下,光纤断面垂直度随着激光加工功率的增加有下降的趋势。光纤断面垂直度会随着扫描速度的增加而减小,随着平台倾角的增加而增加。为改善加工端面垂直度,对带涂敷层光纤材料进行切割加工,并将其加工效果与裸光纤的加工效果进行对比,选择较好的加工方法。