【摘 要】
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小型化、低功耗的全固态脉冲激光器在遥感、通信、医学和军工等领域都具有广阔的应用前景,是激光科学技术领域的研发重点之一。当前,基于可饱和吸收体(SA)的被动调Q/锁模技术是获取超快脉冲激光的最主要手段,但是由于材料恒定吸收系数的影响,这种激光器存在着调控功耗大、速度慢、效率低等瓶颈问题,已无法满足可持续发展的实际使用要求。因此,本文提出一种新型的集成石墨烯-绝缘层氮化硅-氧化铟锡电容器件,具有可调节
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小型化、低功耗的全固态脉冲激光器在遥感、通信、医学和军工等领域都具有广阔的应用前景,是激光科学技术领域的研发重点之一。当前,基于可饱和吸收体(SA)的被动调Q/锁模技术是获取超快脉冲激光的最主要手段,但是由于材料恒定吸收系数的影响,这种激光器存在着调控功耗大、速度慢、效率低等瓶颈问题,已无法满足可持续发展的实际使用要求。因此,本文提出一种新型的集成石墨烯-绝缘层氮化硅-氧化铟锡电容器件,具有可调节的饱和吸收特性,将其应用于全固态连续激光器系统中,可实现纳秒级可调控脉冲激光输出。具体研究内容如下:(1)首先,使用化学气相沉积法(PECVD)制备光学特性优异的石墨烯薄膜,并在此基础上对电容器件的结构进行设计。随后通过仿真模拟,研究不同电场结构下器件的载流子浓度分布,确立了圆环型电极结构,并结合微电子打印工艺制备了垂直结构的石墨烯电容器件。使用SEM、Raman散射光谱等手段,表征电容器的形貌和结构;同时重点在光学方面展开研究分析,测定石墨烯电容器的光学吸收和非线性吸收特性,结果表明石墨烯电容器件光学吸收特性随调制电压的改变而改变。(2)通过理论研究分析倍频晶体的工作特性,根据实验需要和系统装置选择PPLN倍频晶体,并采用腔内倍频的方式,设计了532 nm全固态连续激光器实验装置,并研究其工作特性。将所制备的石墨烯可饱和吸收体应用于该系统,实现了基于石墨烯SA的被动调Q脉冲激光输出。当吸收泵浦功率从3.12 W增加到6.62 W时,实现脉冲宽度从800 ns压缩到280 ns,相对应的重复频率从252 k Hz提高到0.98 MHz。调Q脉冲最短脉宽为280 ns。(3)设计了基于石墨烯电容器件的532 nm全固态脉冲激光器实验装置,并研究其工作特性。当石墨烯电容器件工作时,利用调制电压实现激光器输出性能的有效调控。当泵浦功率稳定在1.78 W时,通过施加调制电压可以实现脉冲宽度从1105 ns到345 ns的稳定调控,相对应的重复频率从110 k Hz提高到315 k Hz。与单一的石墨烯可饱和吸收体相比,石墨烯电容器件不仅能在极低的能耗下实现激光器输出特性的有效调控,还展现出更好的调Q性能。
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