陶瓷材料具有高硬度,耐磨性好,耐高压力,耐高温,化学性能比较稳定的特点。因此,陶瓷材料被广泛应用到工业的各个领域,而陶瓷材料的镜面高效加工技术是发展国防尖端技术的重要手段,对发展航空航天、国防军工、信息、微电子与光电子等尖端科学技术具有重要的意义。本文将超声振动磨削的精密高效与ELID磨削的超精密技术相复合,拟研究使其成为一种高效镜面加工的必要条件及可能性。论文通过ANSYS仿真分析研究了变幅杆节点位置的选取方法,建立了声学系统稳定性阻抗匹配方程。通过对超声ELID复合磨削机理的研究,建立了超声ELID复合磨削之磨削力模型,基于压痕断裂力学,建立了材料的去除率模型。试验表明超声ELID复合磨削提高了材料去除率,超声ELID复合磨削条件下磨削力随磨削深度的增加而增加,且超声下磨削的磨削力并非总是小于ELID磨削时的磨削力。通过试验验证了超声施加到工件上,工件振动时对砂轮表面产生的氧化膜的影响并不显著,即超声对氧化膜的生成影响不大。本文研究了不同磨削参数和电参数下对表面粗糙度的影响,提出了超声ELID复合磨削的最佳工艺参数。在一定的加工条件下通过SEM照片可以看出超声加入ELID磨削后表面质量好于ELID磨削。同时还通过试验研究了不同磨削深度,不同材料,不同超声频率工件表面形貌的影响。纳米复相陶瓷表面质量明显好于氧化铝陶瓷表面。占空比在50%-70%时磨削效果最好。研究表明:若使超声ELID复合磨削成为一种高效的镜面加工方法,对超声参数,电参数及加工条件的优化是必不可少的。