在医疗中,医生使用70%左右氧气含量的混合气体对危重病人进行急救,使用30%左右氧气含量的混合气体对病人进行康复治疗;在工业生产中,例如锅炉节能和炼钢中都需要对高浓度氧气进行精确的测量;在环境监测等方面,同样需要一种可以在高氧浓度下可以对氧气含量进行检测的传感器。但现在市面上的氧传感器大多以低氧或常氧测量为主,鲜有针对高氧浓度进行测量的传感器,本次论文将围绕此课题来进行研究。在分析和整理国内外文献资料基础上,实验制备TiO2薄膜型氧传感器,以及对其原理进行了一些讨论。实验中主要得到如下工作成果:设计并制作了传感器芯片的结构;优化了制备TiO2薄膜时磁控溅射工艺的参数;测试分析退火温度对于TiO2薄膜的影响;测试中发现随着掺杂Pt的量增多,TiO2薄膜传感器在70%以上氧浓度区间的氧灵敏度有明显提高;随着掺杂W的量增多,TiO2薄膜传感器对于70%以下氧浓度区间的氧灵敏度也随之提高,但在70%以上区间氧浓度变化不大;随着掺杂Fe的量增多,TiO2薄膜传感器电阻大幅下降等。择优选择掺杂Pt的TiO2传感器,测试了其工作温度与高浓度氧气下传感器灵敏度的关系。