【摘 要】
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压电泵是一种新型流体驱动器,它具有结构紧凑、响应特性好、精确度高、耗能低、无噪声等优点,使得其在微型机电、医疗器械、化学分析、航空航天等领域有巨大的应用价值。然而,对于容积式压电陶瓷泵,传统的单向阀在工作中存在严重的滞后性,使得它很难与压电陶瓷泵的壳面振动相匹配。在这种制约条件下,腔式压电陶瓷泵的效率并没有得到充分地发挥。相比于被动式单向阀,虽然使用压电驱动式主动阀对提高压电泵的工作频率有利,但其
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压电泵是一种新型流体驱动器,它具有结构紧凑、响应特性好、精确度高、耗能低、无噪声等优点,使得其在微型机电、医疗器械、化学分析、航空航天等领域有巨大的应用价值。然而,对于容积式压电陶瓷泵,传统的单向阀在工作中存在严重的滞后性,使得它很难与压电陶瓷泵的壳面振动相匹配。在这种制约条件下,腔式压电陶瓷泵的效率并没有得到充分地发挥。相比于被动式单向阀,虽然使用压电驱动式主动阀对提高压电泵的工作频率有利,但其存在阀口开启位移较小或输出力较小而导致流量下降的问题,且需要的阀控制系统复杂,不易于集成化设计。利用ME
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