【摘 要】
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非球面光学零件加工是国内外公认的难题。为解决非球面光学零件加工难,成本高的问题,本文提出了切线回转法加工高次非球面光学零件的新原理。切线回转法加工原理适用于加工包
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非球面光学零件加工是国内外公认的难题。为解决非球面光学零件加工难,成本高的问题,本文提出了切线回转法加工高次非球面光学零件的新原理。切线回转法加工原理适用于加工包括球面,二次非球面以及高次非球面光学零件。本文着重研究了加工大型非球面的原理,首先对加工原理进行了理论精度分析;其次,根据精度分析,进行了φ250～400nm大口径非球面机床结构设计;最后提出了机床硬件和软件设计方案,这些为以后的工作奠定了理论基础。由以上研究,可得出如下结论,切线回转法加工大型非球面从原理上来说是正确的,可行的,并且提高了高次大型非球面光学零件的加工效率,大大降低了加工成本。
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