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随着科学技术的快速发展和生活水平的不断提高,人们对便携式能源的使用效率和环保的程度有了更高的要求,如何采用新型绿色能源设计出低功耗的电源系统显得非常迫切。在消费电子、航空航天、国防等方向,人们更关注持久的电源续航时间、环境友好性以及便携式设计等环节。根据现有的试验室条件,对MEMS微能源进行研究分析,包括MEMS微型燃料电池、MEMS微型超级电容器及MEMS微型太阳能电池等三种MEMS微型能源,从而达到提高使用效率和保护生态环境的目的。由于三种不同类型的MEMS微型能源的工作特性差距较大