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自20世纪90年代初碳纳米管被发现以来,基于碳纳米管的场致发射阵列很快就被用到场致发射的研究中来。碳纳米管具有高长径比、较低的功函数、优异的导电性和力学特性以及稳定的化学性质。理论上可实现很高的场发射电流密度。使用碳纳米阵列作为电子发射源,可广泛用于微波功率放大、场发射平面显示、X射线管等器件。本文首先对碳纳米管的场致发射特性及其影响因素进行了较为详细的讨论,接着对碳纳米管场致发射阵列的制备进行了探索性研究。研究结果发现:在微波等离子体化学气相沉积法中,催化剂是碳纳米管制备不可缺少的因素