基于亚波长金属周期结构的THz滤波器的研究

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亚波长金属周期结构由于其电磁特性可调节的优势,近些年成为太赫兹波段电磁材料的研究重点,被广泛应用于太赫兹波段器件的研究和设计之中。本论文对亚波长金属周期结构在太赫兹波段的透射特性进行了详细的实验和理论研究,主要研究内容如下:1.制作出不同形状、周期、金属材料的亚波长金属孔结构和亚波长金属环结构,使用太赫兹时域光谱系统测试其透射特性。2.设计并模拟了复合型金属周期结构的谐振频率拓宽及多通道特性,并对对其谐振频率拓宽和多通道特性进行了实验测试和分析:这种把多种结构复合在一个周期内的方法,加工方法与简单的金属周期阵列的方法完全一致,不需要多层结构即可实现频率叠加的功能,在实现同一功能的前提下大大简化了加工难度,为太赫兹滤波器的制作提供了一种新方法。3.研究了金属网格和金属环结构组合而成的复合型器件,并探究谐振特性的与两个元件相对位置的关系,设计出基于MEMS梳齿驱动器的可调谐太赫兹滤波器。此结构是为MEMS梳齿驱动器设计出来的,能够和梳齿驱动器非常好的兼容。4.提出一种太赫兹波段人工材料参数提取方法。人工材料光学参数表征方法中,介电常数和磁导率一般通过反演获得,需要测量透射和反射。本文利用等效介质的概念,考虑人工材料内部的多层反射,得到人工材料薄膜的介电常数。模拟和测试了L型金属周期阵列在两种不同偏振下的透射特性,并利用这个方法提取出其复介电常数。实验证明,这个方法十分简单有效,对于太赫兹波段物质的光学特性,特别是超薄的材料以及人工材料具有特别重大的意义。
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