无氟高分子辅助金属有机物沉积法制备SmBCO超导薄膜

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本论文综述了超导材料的发展、应用以及分类;简要介绍了REBCO高温超导薄膜的发展和制备方法;重点介绍了REBCO高温超导薄膜的结构、性能参数;并阐明了本课题的研究目的及内容。本论文采用无氟高分子辅助金属有机物沉积方法(PA-MOD)在LaA103单晶片上制备SmBa2Cu307.x(SmBCO)薄膜。首先全面介绍了制备SmBCO薄膜的整个工艺流程;其次对无氟PA-MOD法制备SmBCO薄膜的热处理工艺进行研究,通过实验确定最佳外延生长温区为790℃,然后引入部分熔融进一步优化SmBCO的外延
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