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CuInGaSe_2太阳电池具有廉价、高效、稳定等优点,是当前具有良好发展前景的太阳电池之一。本文重点研究了CIGS薄膜的制备工艺、结构、光学及电学性能,并对CuInGaSe_2薄膜的制备工艺进行了优化。用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见光分光计、四探针法对薄膜的结构、表面形貌、光学及电学性能进行检测。本文以高纯的Cu、In、Ga、se粉为源材料制备了CuInGaSe_2薄膜。在原有的实验基础上对CuInSe_2薄膜的制备工艺进行了改进,采用三步共蒸法制备工艺,实验中