【摘 要】
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光学干涉测量法是一种高精度、高效率、非接触的球面形貌检测方法,是较为理想的表面形貌检测方法。干涉测量方法单次测量为孔径固定的球冠区域,多次测量使测量区域覆盖全口径,子孔径拼接技术是显示球面全口径的有效方法。为得到微球全表面信息,本课题针对微球表面干涉测量的子孔径拼接技术中拼接路径、匹配误差等问题进行研究,论文的主要研究内容如下:首先对微球表面干涉测量系统的原理进行研究,包括Linnik型短相干偏振
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光学干涉测量法是一种高精度、高效率、非接触的球面形貌检测方法,是较为理想的表面形貌检测方法。干涉测量方法单次测量为孔径固定的球冠区域,多次测量使测量区域覆盖全口径,子孔径拼接技术是显示球面全口径的有效方法。为得到微球全表面信息,本课题针对微球表面干涉测量的子孔径拼接技术中拼接路径、匹配误差等问题进行研究,论文的主要研究内容如下:首先对微球表面干涉测量系统的原理进行研究,包括Linnik型短相干偏振干涉原理,检测装置的组成。然后,对微球表面的子孔径拼接技术进行研究,包括移相干涉测量中子孔径相位计算方法
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